спитав Copilot
інтеграційні виклики залишаються
Огляд ASME 2026 року прямо вказує на проблеми інтеграції FEL у фотолітографію:
складність узгодження FEL‑джерела з оптикою EUV;
стабільність пучка;
вартість прискорювача;
необхідність компактних архітектур.
Тобто проєкт просувається, але ще далеко до промислового рівня.
Паралельно індустрія рухається вперед з High‑NA EUV
Imec у 2026 році отримав найновіший High‑NA EUV сканер ASML EXE:5200 .
Це означає:
індустрія поки що робить ставку на розвиток LPP‑джерел,
але паралельно досліджує альтернативи (FEL, SSMB).
Це важливо: прискорювачі не замінюють LPP зараз, але готуються як наступне покоління джерел.
відносно "Проблема в тому що всі сидять на своїх тепленьких стільчиках в зоні комфорту і ніхто не хоче лізти на нерозвідані території", то це так, але трошечки не так. Справжня проблема що вигідніше займатись шахрайством, і симуляцією діяльності з генерацією фейкових досягнень - саме так працюють ті хто має держфінансування.